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产品描述
Autoconcept GD90是一个专为高精度元素分析所设计的高分辨辉光放电质谱仪。此辉光放电质谱仪(GDMS)提供了固体金属与绝缘体的直接分析检测。它具有非常宽的元素覆盖范围,可得到超过70种元素的有效数据,灵敏度高,轻元素重元素均可。
GDMS技术使原子化(碎片化)过程与离子化过程分开进行,故而可容易的对ppb至ppt级别的痕量杂质进行测量。此法还使得GDMS技术拥有*小的基体效应且无须特定参照材料。它可对金属与合金进行全扫描分析,可对半导体进行大量的测量分析,可对多层结构与镀层进行深度剖析。是包括金属、合金、半导体以及绝缘体(须配RF源)等高纯材料的生产与质量控制的理想工具。
主要特性:
·高分辨率,特别是对于有干扰离子存在的测定而言十分重要。
·广泛的元素涵盖范围,软件中包括70个元素相关的干扰离子数据。
·由于原子化和离子化过程发生在不同区域,带来可忽略的基体效应。
·低至亚ppb级的定量数据。
·具有深度剖面同位素比值分析能力。
·*少的样品制备过程。